4月6日,應(yīng)柔性電子學(xué)院和研究生院邀請(qǐng),南京大學(xué)李濤濤副研究員做客我校“未央導(dǎo)師論壇”,作了題為“二維半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)”的線上學(xué)術(shù)報(bào)告。報(bào)告會(huì)由柔性電子學(xué)院副院長(zhǎng)劉國(guó)棟主持,學(xué)院相關(guān)專業(yè)教師、研究生參加了此次報(bào)告會(huì)。
李濤濤副研究員的報(bào)告聚焦于晶圓級(jí)二維半導(dǎo)體單晶制備的科學(xué)問題,從外延取向控制、層數(shù)控制、外延工藝設(shè)計(jì)等關(guān)鍵科學(xué)和技術(shù)問題展開,首先介紹了通過(guò)定向外延機(jī)制與襯底設(shè)計(jì)分析,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)兼容的2英寸MoS2單晶外延生長(zhǎng);緊接著又講了利用“逐層生長(zhǎng)”的熱力學(xué)限制與“齊頭并進(jìn)”的形核機(jī)制,實(shí)現(xiàn)了大面積、均勻雙層MoS2連續(xù)薄膜可控制備;最后介紹了借助氯化物氣相外延(HVPE)工藝,不僅實(shí)現(xiàn)了2英寸MoSe2單晶薄膜的外延制備,同時(shí)也為其他TMDC材料大面積生長(zhǎng)提供了普適性外延方案。
李濤濤副研究員的報(bào)告內(nèi)容豐富翔實(shí),講解生動(dòng)有趣,邏輯清晰明了,使此次參會(huì)師生對(duì)二維半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)相關(guān)知識(shí)有了深入的了解,對(duì)我校師生在相關(guān)領(lǐng)域科研工作的深入開展也具有很好的啟發(fā)性和指導(dǎo)性。報(bào)告會(huì)后,李濤濤副研究員與師生們展開了深入的交流討論,耐心、詳細(xì)、專業(yè)的解答了參會(huì)師生們提出的各類問題,并誠(chéng)摯的邀請(qǐng)柔性電子學(xué)院師生在今后科研工作中多合作、多溝通。
新聞小貼士:
李濤濤,南京大學(xué)副研究員。2021年9月在南京大學(xué)獲得材料科學(xué)與工程博士學(xué)位,同年11月入職南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院。研究方向主要聚焦二維材料外延生長(zhǎng)與器件制備,通過(guò)襯底設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)兼容的大面積二維半導(dǎo)體可控生長(zhǎng)和高性能器件應(yīng)用。目前發(fā)表學(xué)術(shù)論文40余篇,他引超過(guò)1200次。近五年以第一/通訊作者(含共同)等身份在Nature, Nature Nanotechnol., Chem. Soc. Rev., Nation. Sci. Open等期刊發(fā)表高質(zhì)量論文,2篇入選ESI熱點(diǎn)論文(前0.1%),第一作者論文單篇最高他引170余次;主持國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目子課題、國(guó)家自然科學(xué)基金青年項(xiàng)目、江蘇省自然科學(xué)基金青年項(xiàng)目;獲京博科技獎(jiǎng)-化學(xué)化工與材料京博優(yōu)秀博士論文銅獎(jiǎng),入選2022年度中國(guó)半導(dǎo)體十大研究進(jìn)展。
(核稿:劉國(guó)棟 編輯:劉倩)